EUV

2025-03-09

消息称中国开发出国产EUV工具 挑战ASML的垄断地位

中国国产极紫外(EUV)光刻机的发展远非遥不可及。 目前正在华为东莞工厂进行测试的最新系统采用了激光诱导放电等离子体(LDP)技术,代表了一种可能具有颠覆性的极紫外光产生方法。 该系统计划于 2025 年第三季度进行试生产,并于 2026 年实现量产,这有可能使中国打破 ASML 在先进光...

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