ArF 光刻机

 2 月 19 日消息，尼康在其 2025 财年第三财季（截至 2024 年 12 月 31 日）财报的演示文稿中透露，该企业正同合作伙伴一道开发一款兼容 ASML 主导的浸没式 ArF（也称 ArFi）光刻生态的新型光刻机产品，目标 2028 财年（2027 年 4 月~202...