2025-09-18
消息称中芯国际已开始测试首款国产DUV光刻机 进军5nm工艺
中芯国际正在测试由上海初创公司宇量昇生产的深紫外线(DUV)光刻机,正测试的光刻机采用浸没式技术,类似于ASML所采用的技术。过去,中芯国际高度依赖从荷兰半导体设备大厂ASML进口的DUV,但是近年来由于美国的出口管制,只能获得较旧设备。 知情人士透露,中芯国际正在测试一台28纳米的DUV...
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中芯国际正在测试由上海初创公司宇量昇生产的深紫外线(DUV)光刻机,正测试的光刻机采用浸没式技术,类似于ASML所采用的技术。过去,中芯国际高度依赖从荷兰半导体设备大厂ASML进口的DUV,但是近年来由于美国的出口管制,只能获得较旧设备。 知情人士透露,中芯国际正在测试一台28纳米的DUV...